[原創(chuàng)]均勻性的修正 [復制鏈接]

路過，看看

均與性調(diào)到5nm以下，如何？

調(diào)整均勻性擋板，上下，形狀都會影響均勻性，理論計算就不會了

通過調(diào)節(jié)擋板和掛環(huán) *@ \LS!N

通過補正板的適當調(diào)整，可以解決。具體要看曲線的形狀，具體分析。

通過調(diào)節(jié)擋板和掛環(huán)

調(diào)節(jié)補償擋板

1,先鍍一鍋無修正板的,測試片要記好順序,測出數(shù)據(jù)( 用一種膜料試) R:^?6f<Z}  
2,再鍍一鍋有修正板的,修正板長方最好是長方形,測試片要記好順序,測出數(shù)據(jù), wggHUr(g,  
  (順序出錯很重要,不能出錯), :!!`!*!JH  
3,根據(jù)1,2的數(shù)據(jù),算出各個位的修正因子 j6(IF5MqP  
4,再根據(jù)2的數(shù)據(jù)和各個位的修正因子,修改修正板,用改好的板再鍍,測出數(shù)據(jù) H{zuIN/.1  
5,看數(shù)據(jù)的一致性好不好,好了就OK,不好,再根據(jù)4的數(shù)據(jù)和各個位的修正因子,修改修正板,用改好的板再鍍,測出數(shù)據(jù), rh&Eu qE%  
6,重復直到OK

這是一個朋友教我的, ;*H~Yb0  
不清楚的加我QQ:398616130

找到修正板和對應(yīng)位的方法: 6ng g*kE<  
1,拉線法,坩堝中心到對應(yīng)位中心拉線,對應(yīng)的修正板位置就是對應(yīng)位遮擋線,用此法找出每一個位在修正板遮擋線的位置,對應(yīng)位置的寬度就是計算的依據(jù) Jo
+C!kc  
2,光線法,坩堝中心放一個小燈泡,對應(yīng)位中心被修正板遮擋的位置就是對應(yīng)位遮擋線,找出每一個位