切換到寬版
  • 廣告投放
  • 稿件投遞
  • 繁體中文
    • 2225閱讀
    • 0回復(fù)

    [下載]反應(yīng)磁控濺射法制備Y2O3金剛石紅外減反膜 [復(fù)制鏈接]

    上一主題 下一主題
    離線chenchao
     
    發(fā)帖
    61
    光幣
    238
    光券
    0
    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2011-12-18
    關(guān)鍵詞: 磁控濺射薄膜透過率
    反應(yīng)磁控濺射法制備Y2O3金剛石紅外減反膜摘 要:采用純釔 (Y)金屬靶,在氧 +氬反應(yīng)氣氛中進行了 Y2O3薄膜直流反應(yīng)磁控濺射沉積。研究了工藝參數(shù)改變對薄膜的影響 ,選擇較優(yōu)的工藝在金剛石表面沉積符合光學(xué)厚度的薄膜 ,達到增透減反射效果。利用 X射線光電子能譜 (XPS)和掃描電子顯微鏡 ( SEM)研究了薄膜的組成和結(jié)構(gòu)。利用 X射線衍射儀 (GI XRD)和橢偏儀 (Elli p s ometer)研究了不同襯底溫度和熱處理溫度對氧化釔薄膜組織結(jié)構(gòu)和光學(xué)性能的影響。采用傅立葉紅外光譜儀 ( FTI R)檢測了鍍膜前后金剛石紅外透過性能。研究發(fā)現(xiàn) Y2O3薄膜能夠有效提高金剛石在 8~12μm的紅外透過性能 ,在 8μm處最大增透可達 21 . 8% ,使金剛石紅外透過率由 66 . 4%提高到 88 . 2%;在 3~5μm范圍 ,雙面鍍制了 Y2O3薄膜的金剛石平均透過率達 64 . 9%,比沒有鍍膜的金剛石在該處的平均透過率 54%高出 10 . 9%。 zTSTEOP}%Y  
    6A-|[(NS  
    關(guān)鍵詞:Y2O3薄膜;反應(yīng)磁控濺射法;紅外透過率;減反射
    附件: 反應(yīng)磁控濺射法制備Y_2O_3金剛石紅外減反膜.rar (756 K) 下載次數(shù):3 ,售價:2光幣[記錄]
     
    分享到