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    [下載]非對(duì)稱(chēng)雙極脈沖反應(yīng)磁控濺射制備TiN/ZrN多層膜 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2011-12-18
    關(guān)鍵詞： 納米磁控濺射射線
    非對(duì)稱(chēng)雙極脈沖反應(yīng)磁控濺射制備TiN/ZrN多層膜摘要：采用非對(duì)稱(chēng)雙極脈沖磁控濺射制備了一系列不同調(diào)制周期的 Ti N /Zr N納米多層膜 ,利用 X射線衍射分析(XRD)、 納米壓痕儀、 掃描電子顯微鏡 ( SEM)表征了薄膜的微觀結(jié)構(gòu)、 力學(xué)性能和斷口形貌。結(jié)果表明 ,在調(diào)制周期為 30 nm時(shí) ,納米硬度達(dá)到 38 GPa。 HVNX"`]"  
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    關(guān)鍵詞：納米多層膜；力學(xué)性能；調(diào)制周期
     
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