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    [下載]激光掃描磁控濺射Fe/Si膜直接形成α-FeSi2 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2011-12-18
    關(guān)鍵詞: 磁控濺射激光掃描退火
    激光掃描磁控濺射Fe/Si膜直接形成α-FeSi2摘要:用直流磁控濺射方法分別在室溫及不同溫度的 Si (100)襯底上沉積 Fe 膜 ,隨后采用脈沖激光掃描進(jìn)行退火 ,X 射線衍射(XRD) 和掃描電子顯微鏡(SEM)表征了激光掃描對(duì)薄膜結(jié)晶性質(zhì)和表面顯微結(jié)構(gòu)的影響。測(cè)量結(jié)果證實(shí)直接形成了 Fe2Si 化合物系的富硅高溫相α 2FeSi2 ,室溫沉積樣品的結(jié)晶性質(zhì)隨激光能量密度的增加而提高;反應(yīng)沉積樣品的結(jié)晶性質(zhì)隨襯底溫度升高而提高。 L,~MicgV  
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    關(guān)鍵詞:磁控濺射;激光掃描退火;結(jié)晶性質(zhì);顯微結(jié)構(gòu)
    附件: 激光掃描磁控濺射Fe_Si膜直接形成_FeSi_2.rar (542 K) 下載次數(shù):2 ,售價(jià):2光幣[記錄](méi)
     
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