掃描電磁顯微鏡ky-2800b技術(shù)性能指標:
BNm va 分辨率:4.5nm(鎢絲陰極)
YaZ"&i 放大倍數(shù):15倍-250,000倍
%+W
>+xRb 電子光學系統(tǒng) -/{}^QWB 電子槍:發(fā)叉式鎢絲陰極
jHw2Q8s|R 加速電壓:0-30kV
N'BctKL 透鏡系統(tǒng):電磁透鏡
Ewsg&CCN 物鏡光闌:三個光闌可在真空外選擇調(diào)節(jié)
B91PlM. 樣品室
pC.T)k 六個接口,可接WDS、EDS、BSE等多種附件和探測器
pPoC61F 樣品臺
e;u8G/ 標準樣品臺位移:X=50mm,Y=50mm,Z=25mm
RvZ-w$E&? T=-5°~+90°,R=360°
TK?+O}v-]! 大樣品臺位稱:X=80mm,Y=50mm,Z=30 mm
Nn7@+g) T=0°~+90°,R=360°
LsZ!':LN 計算機系統(tǒng):PC機,基于MicrosoftTM WindowsTMXP軟件操作系統(tǒng),全中文菜單
"LaX_0t) 圖像顯示與觀察
BiCa " 數(shù)字圖像,1024×768顯示方式
#]/T9: 17"彩色顯示器
05LQh 掃描方式:全幅、面、線、點、選區(qū)雙放大及屏幕分割
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