[求助]有沒(méi)有可能在一塊玻璃基底上分區(qū)鍍膜 [復(fù)制鏈接]

求教： 0">#h  
       把一塊玻璃基底的一個(gè)光學(xué)表面劃分為左右兩部分（不是物理切斷），兩部分分別鍍膜，比如左邊鍍A膜,右邊鍍B膜，并要求A膜與B膜過(guò)渡間隔<50um. ^beW*
O!  
       能不能，或者有什么辦法可以做到呢？ [,fMh $t  
       用機(jī)械擋可以嗎？我擔(dān)心膜料原子在基底表面的遷移運(yùn)動(dòng)會(huì)擴(kuò)散到遮擋物下面，致使兩膜層間隔模糊不清，并且過(guò)渡間隔將遠(yuǎn)大于50um。 [y:6vC   
       不知有沒(méi)有朋友有更好的建議。

你要鍍的是什么膜啊？？能不能說(shuō)說(shuō)�。。�！才能回答你的問(wèn)題�。。�！兩者之間的鍍膜要求�。�！

用掩膜應(yīng)該可以做。但是掩膜和基片之間的距離要盡量的緊貼。

這么高的要求，沒(méi)做過(guò)，鍍兩種膜是做過(guò)的，但是允許誤差是1毫米左右的。

先鍍A膜，涂一般加50NM的光刻膠后再刻蝕，再鍍B膜再刻蝕

有方式可以達(dá)到你的要求,而且線寬可以更小,但是要看你的後援 |f`!{=?  
因?yàn)槲以��?jīng)在同一片玻璃上鍍4~5種膜,但是加工程序很花錢

樓主具體想做哪兩種？可聯(lián)系QQ:277955946，可以給你試試。