摘要：
2E0oLl[ _Uhl4Mh 研制了一種在衍射光變圖像器件上進(jìn)行信息存儲的新型數(shù)字化激光光刻系統(tǒng)。采用空間光調(diào)制器作圖形自動輸入，雙遠(yuǎn)心投影成像系統(tǒng)在光刻記錄面上縮微圖形。通過光柵干涉光學(xué)頭對記錄面上的微圖形進(jìn)行干涉調(diào)制， 使微圖形上產(chǎn)生干涉條紋，條紋空間頻率范圍為500～1200 lp/mm。在光刻膠干版上的存儲實(shí)驗(yàn)表明，在衍射光變圖像上的單角度存儲信息密度大于3.7 Mbit/cm2。改變干涉條紋取向、條紋間隔和需要存儲的圖形，光刻系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)信息的旋轉(zhuǎn)復(fù)用存儲。上述光刻系統(tǒng)將會在防偽和衍射光變圖像器件制造領(lǐng)域有良好應(yīng)用。
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