菲索干涉儀器球面標(biāo)準(zhǔn)鏡參考文獻(xiàn),很不錯的說。 -`gqA%#+
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摘 要:在高精度的光學(xué)元件面形檢測中,為了保證檢測的精度,必須對高精度菲索干涉儀的標(biāo)準(zhǔn)鏡的自重和溫度變形進(jìn)行嚴(yán)格地控制。針對高精度菲索干涉儀標(biāo)準(zhǔn)鏡的精度要求, 設(shè)計了一種新的標(biāo)準(zhǔn)鏡裝卡結(jié)構(gòu)。采用有限元方法分析了標(biāo)準(zhǔn)鏡在膠接方式下的表面變形情況,參考面表面變形峰谷( PV)值僅為9. 6nm , 均方根( RMS) 值為2. 1nm。同時對不同環(huán)境溫度下參考面的變形進(jìn)行了計算得出面形的峰谷值和均方根值。最后介紹球面標(biāo)準(zhǔn)具的裝配過程。 `;4P?!WG
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關(guān) 鍵 詞:應(yīng)用光學(xué);菲索干涉儀;標(biāo)準(zhǔn)鏡;鏡面支承;有限元法