1.前言
Ar<OP'C Tc88U8Gc 現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)所使用的硬脆材料，如單品硅、功能材料、陶瓷、寶石和
光學(xué)玻璃等，對(duì)這些材料進(jìn)行超精密加工，并獲得很好的面形
精度和超光滑表面部是很難的。近代剛剛趨于成熟的金剛石切削技術(shù)對(duì)此也無(wú)能為力。
.897Z|$VB 0X0D8H(7Q 解決這些材料的加工問(wèn)題還是不斷改進(jìn)的傳統(tǒng)工藝方法，或是在傳統(tǒng)工藝方法上又加入新的工藝手段，因?yàn)榭茖W(xué)的發(fā)展對(duì)加工精度和表面質(zhì)量的要求愈來(lái)愈高，傳統(tǒng)工藝方法已經(jīng)很難應(yīng)付了。對(duì)硬脆材料實(shí)行超精密加工并不斷的提高加工精度，提高加工效率，是我們?cè)O(shè)法回避的問(wèn)題，為此人們把不同的
物理過(guò)程、不同的化學(xué)過(guò)程應(yīng)用于加工工藝中，如離子束加工是一種非常好的加工方法，離子束
拋光可達(dá)到很高的水平，但這項(xiàng)技術(shù)的開展工作需要很多的資金投入和做深入的研究工作。本文從另外角度考慮問(wèn)題，從改變加工環(huán)境溫度考慮問(wèn)題。在金剛石超精密加工技術(shù)的發(fā)展過(guò)程中，就有人研究過(guò)金剛石低溫切削技術(shù)5，出現(xiàn)了一些新現(xiàn)象，例如在低溫條件下，金剛石可切削黑色
金屬并獲得很好的表面質(zhì)量。那么，在低溫狀態(tài)下，對(duì)
光學(xué)材料進(jìn)行拋光，又會(huì)產(chǎn)生那些新現(xiàn)象，是否能提高加工精度和加工效率，我們通過(guò)實(shí)驗(yàn)作了一定程度的探討，下面簡(jiǎn)述之。
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