1.前言
X{SD3j=G# "Dbjp5_ 現(xiàn)代科學技術所使用的硬脆材料，如單品硅、功能材料、陶瓷、寶石和
光學玻璃等，對這些材料進行超精密加工，并獲得很好的面形
精度和超光滑表面部是很難的。近代剛剛趨于成熟的金剛石切削技術對此也無能為力。
tx=~bm"*? >L6 V! 解決這些材料的加工問題還是不斷改進的傳統(tǒng)工藝方法，或是在傳統(tǒng)工藝方法上又加入新的工藝手段，因為科學的發(fā)展對加工精度和表面質量的要求愈來愈高，傳統(tǒng)工藝方法已經很難應付了。對硬脆材料實行超精密加工并不斷的提高加工精度，提高加工效率，是我們設法回避的問題，為此人們把不同的
物理過程、不同的化學過程應用于加工工藝中，如離子束加工是一種非常好的加工方法，離子束
拋光可達到很高的水平，但這項技術的開展工作需要很多的資金投入和做深入的研究工作。本文從另外角度考慮問題，從改變加工環(huán)境溫度考慮問題。在金剛石超精密加工技術的發(fā)展過程中，就有人研究過金剛石低溫切削技術5，出現(xiàn)了一些新現(xiàn)象，例如在低溫條件下，金剛石可切削黑色
金屬并獲得很好的表面質量。那么，在低溫狀態(tài)下，對
光學材料進行拋光，又會產生那些新現(xiàn)象，是否能提高加工精度和加工效率，我們通過實驗作了一定程度的探討，下面簡述之。
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