真空工藝進(jìn)行前應(yīng)清洗真空
材料，從工件或
系統(tǒng)材料表面清除污染物；車燈
鍍膜機(jī)零部件的表面清洗處理也是很有必要的，因為由污染物所造成的氣體、蒸氣源不僅會使真空系統(tǒng)不能獲得所要求的真空度。而且由于污染物的存在，同時也會影響真空部件連接處的強(qiáng)度和密封性能。
~a7@O^q 4 ' '9K(p6 污染物可以定義為“任何一種無用的物質(zhì)或能量”，多弧離子鍍膜機(jī)根據(jù)污染物的
物理狀態(tài)可分為固體、氣體及液體，它們以膜或散粒形式存在。就其化學(xué)特征來看，它可以處于離子態(tài)或共價態(tài)，可以是無機(jī)物或有機(jī)物。
A9Ea}v9: ||cI~qg 暴露在空氣中的表面最易受到污染，污染的來源有多種，最初的污染通常是表面本身形成過程中的一部分。吸附現(xiàn)象、化學(xué)反應(yīng)、浸析和干燥過程、
機(jī)械處理以及擴(kuò)散和離析過程都使各種成分的表面污染物增加。比較常見的真空材料表面上的污染物具體有以下幾種類型。
Tp~Qg{%Og #+" D? 1.油脂
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R: 加工、裝配、操作時沾染上的潤滑劑、切削液、真空油脂等；
874j9ky[ ri3*~?k00 2.水基類
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2C 操作時的手汗、吹氣時的水汽、唾液等；
<|WXFjn 60|m3|0o 3.表面氧化物
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