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luffy17520:大機(jī)器有2中修正板,一種是基板左右的,每次做單腔來調(diào)整,還有就是基板擋板換成修正板,同理。 )[6H!y5 大機(jī)器還有離子源修正板,這個(gè)比較簡(jiǎn)單。 L '342( 小機(jī)器為左右擋板,試驗(yàn)原理也是單腔 . #;ZM[v 波長長了就修掉一點(diǎn),讓ibs多多轟擊即可 0?ZJJdI3 ....... (2013-11-21 15:53) Fy<dk}@
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