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    [討論]OS-50薄膜熱應(yīng)力是 壓應(yīng)力還是拉應(yīng)力 [復(fù)制鏈接]

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    離線zmcjzt
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2013-11-15
    如題，請(qǐng)問(wèn)OS-50薄膜熱應(yīng)力是 壓應(yīng)力還是拉應(yīng)力？
     
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    離線luffy17520
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2013-11-22
    是什么材料蒸發(fā)的啊 ^*}L9Ot~  
    根據(jù)材料來(lái)算拉應(yīng)力還是張應(yīng)力
    離線zmcjzt
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2014-04-09
    回 luffy17520 的帖子
    luffy17520:是什么材料蒸發(fā)的啊 B>9D@fmzs  
    根據(jù)材料來(lái)算拉應(yīng)力還是張應(yīng)力 (2013-11-22 13:04)  Xo]FOJ 5  
    a=C?fh  
    TI3O5    TI3O5        
    離線ouyuu
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2014-04-17
    OS-50是TiO2吧。應(yīng)力也要看基板溫度的。