一﹑晶振片的種類
'[5tc fG#z 1_/\{quE 晶振片的電極對膜厚監(jiān)控至關(guān)重要，目前，市場上提供三種
標準電極
材料：金、銀和合金。 金是最廣泛使用的傳統(tǒng)材料，它具有低接觸電阻，高化學(xué)溫定性，易于沉積。金最適合于低應(yīng)力材料，如金，銀，銅的膜厚控制。用鍍金晶振片監(jiān)控以上產(chǎn)品，即使頻率飄移1MHz，也沒有負作用。然而，金電極不易彎曲，會將應(yīng)力從膜層轉(zhuǎn)移到石英基片上。轉(zhuǎn)移的壓力會使晶振片跳頻和嚴重影響質(zhì)量和穩(wěn)定性。
R]/F{Xs xVKx#X9yk 銀是接近完美的電極材料，有非常低的接觸電阻和優(yōu)良的塑變性。然而，銀容易硫化，硫化后的銀接觸電阻高，降低晶振片上膜層的牢固性。
u!nt0hS -H.;73Kb[ 銀鋁合金晶振片最近推出一種新型電極材料，適合高應(yīng)力膜料的
鍍膜監(jiān)控，如Si0，Si02， MgF2，Ti02。這些高應(yīng)力膜層，由于高張力或堆積的引力，經(jīng)常會使晶振片有不穩(wěn)定，高應(yīng)力會使基片變形而導(dǎo)致跳頻。 銀鋁合金通過塑變或流變分散應(yīng)力，在張力或應(yīng)力使基體變形前，銀鋁電極已經(jīng)釋放了這些應(yīng)力。這使銀鋁合金晶振片具有更長時間，更穩(wěn)定的振動。實驗室的實驗表明鍍Si02用 銀鋁合金晶振片比鍍金壽命長400%。
)sB`!:~HjP + 7E6U* 晶振片的電極根據(jù)其外觀形狀分為單錨﹑雙錨﹑全雙錨，目前使用較多的為雙錨電極晶振片。
*D;B%j^; [ne4lWaE<y 二﹑如何選用最合適的晶振片？
O(/K@e V* fDvr0 鍍膜科技日新月異，對于鍍膜工程師來說，如何根據(jù)不同的鍍膜
工藝選擇最佳的晶振片確實不易。下面建議供大家參考：
;'ts dsu} I|9e4EX{ y 1）鍍低應(yīng)力膜料時，選擇鍍金晶振片 最常見的鍍膜是鍍Al、Au、Ag、Cu，這些膜層幾乎沒有應(yīng)力，在室溫下鍍膜即可。膜層較軟，易劃傷，但不會裂開或?qū)桩a(chǎn)生負作用。建議使用鍍金晶振片用于上述鍍膜，經(jīng)驗證明，可以在鍍金晶振片鍍60000埃金和50000埃銀的厚度。
tq@<8? fdd3 H[ 2）使用鍍銀或銀鋁合金鍍高應(yīng)力膜層 Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不銹鋼這些材料容易產(chǎn)生高應(yīng)力，膜層容易從
晶體基片上剝落或裂開，以致出現(xiàn)速率的突然跳躍或一系列速率的突然不規(guī)則正負變動。有時，這些情況可以容忍，但在一些情況下，會對蒸發(fā)源的
功率控制有不良作用。
vn0XXuquzC 3=dGz^Zdv: 3）使用銀鋁合金晶振片鍍介質(zhì)
光學(xué)膜 MgF2、SiO2、Al2O3、TiO2膜料由于良好的光學(xué)透明區(qū)域或折射率特性，被廣泛用于光學(xué)鍍膜，但這些膜料也是最難監(jiān)控的，只有基底溫度大于200度時，這些膜層才會與基底有非常良好的結(jié)合力，所以當這些膜料鍍在水冷的基底晶振片上，在膜層凝結(jié)過程會產(chǎn)生巨大的應(yīng)力，容易使晶振片在1000埃以內(nèi)就回失效。 這時候，選用合金晶振片將是最好的選擇，將大大減少調(diào)頻機會。實驗室顯示，使用合金晶振片監(jiān)視氟化鎂，有效壽命比鍍金的長100%。如果把冷卻水的溫度從20度提高到50 度，晶振片的壽命更可以再延長一倍。
%)l2dK&9"j &.7\{q\( 三﹑晶振片的安裝及注意事項與技巧
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