摘要：目前國(guó)內(nèi)用于
激光標(biāo)刻機(jī)的f-theta鏡頭的視場(chǎng)角一般小于60°。采用
望遠(yuǎn)鏡結(jié)構(gòu)，利用視覺(jué)放大率增大視場(chǎng)角，得到了超廣角90°
鏡頭。該方法具有簡(jiǎn)潔、可靠、易實(shí)現(xiàn)等特點(diǎn)。通過(guò)初級(jí)像差分析，確定
系統(tǒng)的初級(jí)結(jié)構(gòu)
參數(shù)，利用
ZEMAX軟件優(yōu)化得到了大工作面為Φ285mm的f-theta鏡頭，鏡頭線性畸變誤差值不超過(guò)1%，在半徑為698μm的圓內(nèi)，能量集中度為80%，聚焦性能接近衍射極限。
HUMy\u84H
