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面形精度：光學(xué)表面幾何形狀的準(zhǔn)確程度 M4R%Gr,La  
面形偏差：是光學(xué)零件的被檢測光學(xué)表面與參考表面的偏差. ?SHc}iaU#  
參考表面可以是樣板,也可以是干涉參考表面，或者其他有足夠精度的測量裝置。 w2.qT+;v  
光學(xué)零件的面形精度可以通過垂直位置觀察到的干涉條紋的數(shù)量、形狀、顏色及其變化來確定。 8[vl3C  
國家標(biāo)準(zhǔn)面形偏差包括三項(xiàng),標(biāo)注為N ,△1N, △2N @>d&5}F_>{  
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光學(xué)樣板檢驗(yàn)原理： q]2}UuM|U  
當(dāng)光學(xué)零件的被檢表面和樣板的工作表面（參考表面）相接觸時(shí)，由于兩者的面形不一致，產(chǎn)生一定的空氣隙，當(dāng)波長為λ的光射到空氣隙上，便形成等厚干涉條紋。從等厚干涉知道，相鄰兩亮條紋之間的空氣隙厚度差近似為λ/2，即通常所說的一個(gè)干涉條紋（光圈）相當(dāng)于空氣隙厚度變化為λ/2。因此光圈數(shù)為N部位所對應(yīng)的空氣隙厚度變化為N* λ/2。 l_UXrnm/N  
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一般是用樣板或激光干涉儀，通過觀察到的干涉條紋進(jìn)行檢測，而光圈的度量包括以下三項(xiàng)面形誤差： 8