精密光學(xué)元件先進(jìn)測(cè)量與評(píng)價(jià)（作者：程灝波）

《精密光學(xué)元件先進(jìn)測(cè)量與評(píng)價(jià)》結(jié)合光學(xué)測(cè)量技術(shù)的最新發(fā)展，針對(duì)目前光學(xué)領(lǐng)域中先進(jìn)光學(xué)測(cè)量技術(shù)進(jìn)行了詳細(xì)的探討，主要涉及技術(shù)起源與發(fā)展、原理、優(yōu)缺點(diǎn)、具體的測(cè)量設(shè)備，以及相關(guān)的測(cè)量方法和精度。 E{,WpU  
《精密光學(xué)元件先進(jìn)測(cè)量與評(píng)價(jià)》分為6 章，第1 章歸納了光學(xué)元件質(zhì)量表述和評(píng)價(jià)方式，闡述了光學(xué)干涉測(cè)量技術(shù)的基本知識(shí)與原理；第2～5 章分別介紹了子孔徑拼接輪廓測(cè)量、接觸式輪廓測(cè)量、結(jié)構(gòu)光輪廓測(cè)量和亞表面損傷檢測(cè)；第6 章介紹了其他相關(guān)的光學(xué)測(cè)量方法。