深化光膠的一對(duì)
棱鏡鍍膜,棱鏡面積25mmx45mm,
成都南光機(jī)。 A面鍍PBS膜 Tp>97%, Ts<0.5% @ 1500+/- 40nm, TiO2+SiO2, 25層 6018nm, 最外層鍍100nm SiO2。 B面鍍單層100nm SiO2。 鍍膜后Zygo 測(cè)量A,B 面的面形在相同等級(jí),具體數(shù)據(jù)如下:
CW?R7A/ G<`6S5J>hr 8jz7t:0 鍍后 B面2件可以正常光膠,但 A面和B面卻光膠不上。
}ssL;q a 9Kws[ 請(qǐng)問(wèn)可能是什么原因?