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    [求助]鍍膜色斑問題 [復(fù)制鏈接]

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    離線pathoptics
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2014-12-04
    球面平凸透鏡鍍?cè)鐾改ぃ哥R直徑36mm,  曲率半徑173mm,  R<0.5 @1550+/- 40nm，  膜料Ta2O5 + SiO2，烘烤溫度250，成都南光機(jī)。 -U"h3Ye^  
    <.yL&$9  
    相同的鍍膜參數(shù)， 鍍10批次有1-2批次出現(xiàn)大比例膜層色斑，有時(shí)剛鍍完取出沒有色斑放置2天后出現(xiàn)色斑，有時(shí)剛鍍完有色斑放置幾天后色斑減淡或消失。 出現(xiàn)色斑批次的光譜曲線和膜層牢固度都正常。 e MT5bn  
    nr t3wqJ  
    已排除了基片本身污染，真空腔內(nèi)污染，離子源和膜料問題。 dq&N;kk |  
    !leLOi2T  
    請(qǐng)問導(dǎo)致膜層色斑的可能原因還有哪些？
     
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    離線pathoptics
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2014-12-05
    沒有回應(yīng)，自頂一下
    離線sgh920
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2014-12-29
    是色斑還是色環(huán)，若是色環(huán)就應(yīng)該是均勻性問題。希望幫到你
    離線pathoptics
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2015-01-14
    謝謝sgh920，是色斑不是色環(huán)，已確認(rèn)過均勻性O(shè)K。此問題不定期出現(xiàn)，有時(shí)間隔1-2個(gè)月，在1-2爐上出現(xiàn)，就像幽靈一般。
    離線081023
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2015-02-01
    應(yīng)該是膜料成膜的致密性造成，現(xiàn)象和你說的一樣，完全沒規(guī)律。而其根本原因是設(shè)備，不知你是用的哪家南光。 YL$#6d  
    離線hyping518
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2015-03-04
    很是深?yuàn)W啊
    離線jiangguang
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2015-03-10
    預(yù)熔充分  看看還有沒有  還有充氧的位置  氧氣的純度等等 都是一些細(xì)節(jié)方面 慢慢排查  
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2015-09-17
    現(xiàn)在還出現(xiàn)嗎？如果沒有可聯(lián)系我 QQ2860598589