藍紫光氮化鎵光子晶體面射型激光器.pdf,有興趣的可以下載。 1w=.vj<d8
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摘要:設計、制作了藍紫光氮化鎵光子晶體面射型激光器結構,并測量其光學性質(zhì),探討了光子晶體的晶格常數(shù)、邊界形狀及晶格種類對激光器特性的影響。激光器結構采用有機金屬化學氣相沉積法配合電子束光刻及感應耦合等離子體干蝕刻等技術制作。由角度解析光致發(fā)光系統(tǒng)測得繞射圖案、激光發(fā)射光譜及發(fā)散角等光學性質(zhì)。同時,使用平面波展開法及多重散射法計算光子晶體的能帶結構與閾值增益。由實驗結果得出,可由改變光子晶體的晶格常數(shù)達到調(diào)變激光器操作模態(tài)的目的。此外,光子晶體的邊界形狀對激光器波長及半高寬并無顯著的影響,但圓形邊界的閾值激發(fā)能量密度比六角形邊界低 0.3mj/cm2。另一方面,將六角晶格、四角晶格與蜂巢晶格的晶格種類進行比較,蜂巢晶格具有較小的激發(fā)能量密度(1.6mj/cm2)及發(fā)散角(1.3°),而四角晶格的激發(fā)能量密度(3.8mj/cm2)及發(fā)散角(2.2°)為三者之中最大。多重散射法求得的閾值增益與實驗結果相吻合,可視為快速有效設計光子晶體激光器結構的工具。本文研究成果對今后發(fā)展高功率藍紫光氮化鎵光子晶體面射型激光器具有指導意義。