我們用光馳OTFC-1100機器做的窄帶,用間控光控控制,晶控輔助。SiO2,Ta2O5,材料。要求中心
波長在1071nm,半波帶寬20nm。
O^9CV*]!n 本來是成熟膜系,已經(jīng)做了有2年時間了,一直很穩(wěn)定,
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但是最近出現(xiàn)膜系無規(guī)律漂移現(xiàn)象,中心波長或漂移向長波,或短波,漂移距離從4--20nm。
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4,|6 本來出現(xiàn)漂移也是正常現(xiàn)象,但是現(xiàn)在是完全無規(guī)律啊,有可能連續(xù)3罩次是沒有變化的,也有可能是每罩次都不一樣。
0xJ7M. 最開始懷疑是單色儀出問題,也就是控制波長不準確。送廠檢測,用廠家來替換的單色儀做了幾次,還是一樣。
4_PCqEp) 廠家說可能 是光控托盤有問題,換了一個,還是一樣。
Ih.rC>)rx 其后還做了很多工作,都沒有解決問題,
*16<M)7 在這里請教各位同行,誰做窄帶,或者用光馳機器出現(xiàn)這種情況的是什么原因,怎么解決的?
^WE4*.( 先謝過啦。