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    [討論]窄帶濾光片無規(guī)律漂移現(xiàn)象 [復(fù)制鏈接]

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    離線haisheng_0_0
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2015-04-13
    我們用光馳OTFC-1100機器做的窄帶,用間控光控控制,晶控輔助。SiO2,Ta2O5,材料。要求中心波長在1071nm,半波帶寬20nm。 O^9CV*]!n  
    本來是成熟膜系,已經(jīng)做了有2年時間了,一直很穩(wěn)定, :}y9$p  
    但是最近出現(xiàn)膜系無規(guī)律漂移現(xiàn)象,中心波長或漂移向長波,或短波,漂移距離從4--20nm。 .dx 4,|6  
    本來出現(xiàn)漂移也是正常現(xiàn)象,但是現(xiàn)在是完全無規(guī)律啊,有可能連續(xù)3罩次是沒有變化的,也有可能是每罩次都不一樣。  0xJ7M.  
    最開始懷疑是單色儀出問題,也就是控制波長不準確。送廠檢測,用廠家來替換的單色儀做了幾次,還是一樣。 4_PCq Ep)  
    廠家說可能 是光控托盤有問題,換了一個,還是一樣。 Ih.rC>)rx  
    其后還做了很多工作,都沒有解決問題, *16<M)7  
    在這里請教各位同行,誰做窄帶,或者用光馳機器出現(xiàn)這種情況的是什么原因,怎么解決的? ^WE4*.(  
    先謝過啦。
     
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    離線dumoty
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2015-04-13
    要是蒸鍍過程沒有問題,看下供電穩(wěn)定不,冷卻水是否有問題。我遇到過冷卻水臟了,導(dǎo)致的成膜不穩(wěn)定
    離線haisheng_0_0
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2015-04-14
    回 dumoty 的帖子
    dumoty:要是蒸鍍過程沒有問題,看下供電穩(wěn)定不,冷卻水是否有問題。我遇到過冷卻水臟了,導(dǎo)致的成膜不穩(wěn)定 (2015-04-13 13:28)  s,6`RI%  
    `:e U.  
    哦?這個倒是沒考慮過,但我們冷卻水是定期換的啊
    離線meron
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2015-05-06
    那你的膜料的質(zhì)量怎樣?純度、顆粒度等是不是和原來的那種膜料一樣?
    離線op1163
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2015-10-11
    這個原因太多了,你先要確定你鍍膜滴標準要是一致滴,如果你確定你幾沒問題,你可以在沒鍍一傘前把你監(jiān)控片,和監(jiān)控器確認一下等,如果有需要可以我愿意和您一起探討解決。