工作壓強(qiáng)范圍（Pn-Pm）：泵能正常工作的壓強(qiáng)范圍
K~X t` 幾種常用真空泵的工作壓強(qiáng)范圍：
xo]|m\#k5E 旋片機(jī)械泵105-10-2pa 吸附泵105-10-2pa 擴(kuò)散泵100-10-5pa 渦輪分子泵101-10-8pa 濺射離子泵100-10-10pa 低溫泵10-1-10-11pa
UZdpKi@ 幾種常用真空泵的工作原理
[g%oo3`A l 旋片機(jī)械泵
s^E%Uk m 工作過(guò)程是： 吸氣—壓縮—排氣。
W;o\}irep 定子浸在油中起潤(rùn)滑，密封和堵塞縫隙的作用。
:,cSEST 主要參量是： 抽速和極限壓強(qiáng)。
)! OEa] 由于極限壓強(qiáng)較高， 常用做前級(jí)泵(預(yù)抽泵)。
[jY_e`S $ A ( #^& ^6obxwVG 旋片式機(jī)械泵
v/(< fI^ l 油擴(kuò)散泵
Qg4qjX](? 工作過(guò)程是：油蒸發(fā)—噴射—凝結(jié)，重復(fù)循環(huán)
iHR?]]RF 由于射流具有高流速(約200米/秒)、高密度、高分子量(300—500)，故能有效地帶走氣體分子。
d*!,McBn 擴(kuò)散泵不能單獨(dú)使用，一般采用機(jī)械泵為前級(jí)泵，以滿足出口壓強(qiáng)(最大40Pa)，如果出口壓強(qiáng)高于規(guī)定值，抽氣作用就會(huì)停止。
@90) l3.HL> o 1. 水冷套； 2. 噴油嘴； 3. 導(dǎo)流管；4. 泵殼； 5. 加熱器
92S< TAdPP l 渦輪分子泵
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n!IgF8 工作過(guò)程是：高速旋轉(zhuǎn)葉片(30000轉(zhuǎn)/分)—對(duì)氣體分子施以定向動(dòng)量—壓縮—排氣。
(h2bxfV~+ 優(yōu)點(diǎn)：無(wú)油，潔凈，啟動(dòng)快，制動(dòng)快，可忍受大氣沖擊。
rH & ^SNc 缺點(diǎn)：由于高速旋轉(zhuǎn)，不能在磁場(chǎng)中使用，否則會(huì)產(chǎn)生渦流，導(dǎo)致葉輪發(fā)熱、變形等嚴(yán)重后果，對(duì)氫氣等輕質(zhì)氣體抽速較小， 價(jià)格昂貴。
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V:u eO 1. 動(dòng)葉輪；2. 泵殼；3. 渦輪排；4. 中頻電動(dòng)機(jī)；5. 底座；
{@({po 6. 出氣口法蘭；7. 潤(rùn)滑油池；8. 靜葉輪；9. 電機(jī)冷卻水管.
t\'URpa+5% 真空
鍍膜 Pxl7zz&pl= n 真空濺射：當(dāng)高能粒子(電場(chǎng)加速的正離子)打在固體表面時(shí)，與表面的原子、分子交換能量，從而使這些原子、分子飛濺出來(lái)。
`L0}^ |`9 n 真空蒸發(fā)：在真空中把制作
薄膜的材料加熱蒸發(fā)，使其淀積在適當(dāng)?shù)谋砻嫔稀?span style="display:none"> :xv"m
{8+
n 真空蒸發(fā)鍍膜簡(jiǎn)介
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{41@v( l 真空系統(tǒng)(DM—300鍍膜機(jī))
#Ig Y'L =)'AXtvE 真空系統(tǒng)(DM—300鍍膜機(jī))
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