[求助]膜系設(shè)計(jì)問題求助 [復(fù)制鏈接]

greensoya:[圖片] WU~L#Ih.V  
謝謝fly6947的詳細(xì)指導(dǎo)！ ]l6niYVB2  
剛發(fā)現(xiàn)前面那幅圖仿真時(shí)的二氧化硅厚度填錯(cuò)了，實(shí)際的物理厚度是10000nm，錯(cuò)誤的填到了光學(xué)厚度里面。修改之后的仿真結(jié)果如圖所示，緊貼si表面的10um二氧化硅使透光曲線上出現(xiàn)了很多紋波（黑色曲線），而如果把這10um二氧化硅去掉， .. (2015-07-30 15:48)  "f>`ZFp^  

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原來如此； dg4q+  
由于環(huán)氧樹脂和Sio2都比較厚，可以不考慮其干涉效應(yīng)，模擬時(shí)先計(jì)算出100%透過率的光通過環(huán)氧樹脂的透過率為多少，如T1；； MbXtmQ%C8  
膜層設(shè)置  Substrate為Sio2    膜層從下到上分別為 Si3N4  Ag  Si3N4  Ag  Si3N4  Ag  Si3N4   mJ+mTA5bW  
medium 設(shè)置為Air 6b\JD.r*{  
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