雙頻激光干涉儀是當(dāng)代國際機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定使用的數(shù)控機(jī)床精度檢測驗收的測量設(shè)備，本文就如何應(yīng)用雙頻激光干涉儀檢驗數(shù)控也庫的定位精度進(jìn)行了討論。
7:plQ !7^ _E@ 2ZnD2 1．測量隱理
K* LlW@ :L F? 由激光頭激光諧振腔發(fā)出的He一Ne激光束，經(jīng)激光偏轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)分裂為頻率分別為f1和f2的線偏振光束，經(jīng)取樣系統(tǒng)分離出一小部分光束被光電檢測器接收作為參考訊號，其余光束經(jīng)回轉(zhuǎn)光學(xué)系統(tǒng)放大和準(zhǔn)直，被干涉鏡接收反射到光電檢測器上。機(jī)床運動使干涉鏡和反射鏡之間發(fā)生相對位移，兩束光發(fā)生多普勒效應(yīng)，產(chǎn)生多普勒頻移±Δf。光電檢測器接收到的頻率訊號（f1-f2±Δf）和參考訊號（f1-f2）被送到測量顯示器，經(jīng)頻率放大、脈沖計數(shù)，送人數(shù)字總線，最后經(jīng)數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)進(jìn)行處理，得到所測量的位移量，即可評定數(shù)控機(jī)床的定位精度。
N8F~8lTi 96( v 2．測量方法
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t]C~ （1）安裝雙頻激光干涉儀測量系統(tǒng)各組件。
s >7}zU] （2）在需測量的機(jī)床坐標(biāo)軸線方向安裝光學(xué)測量裝置。
Y']\Jq{OS （3）調(diào)整激光頭，使雙頻激光干涉儀的光軸與機(jī)床移動的軸線晝在一條直線上，即將光路調(diào)準(zhǔn)直。
h-q3U%R4}@ （4）待激光預(yù)熱后輸入測量參數(shù)。
v_+{'F （5）按規(guī)定的測量程序運動機(jī)床進(jìn)行測量。
}YGV\Nu （6）數(shù)據(jù)處理及結(jié)果輸出。
! >(7+B3E* jnO9j_CY 3．測量誤差分析
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