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    [求助]關(guān)于ar膜溫飄 [復(fù)制鏈接]

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    離線hyping518
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2015-12-26
    鍍膜完成后放置兩天。出現(xiàn)溫飄較為嚴重的現(xiàn)象。除了設(shè)計時移薄還有什么方法解決
     
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    離線yzhuang
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2016-01-03
    加離子源，鍍膜基底溫度升高
    離線luffy17520
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2016-01-04
    以前基本也遇到過 kSH|+K\M4  
    然后把要求的余量做大就好了，基本是要求基礎(chǔ)上的+/-30nm左右即可，不關(guān)均勻性或者溫飄情況下都能保證滿足要求啊 Qlgii_?#@  
    控制好鍍膜環(huán)境 B kWoK/f4