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    [原創(chuàng)]說(shuō)說(shuō)自己的經(jīng)驗(yàn) 關(guān)于算tooling和算材料折射率 [復(fù)制鏈接]

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    離線luffy17520
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2016-01-04
    IGv>0LOd@  
    比如sio2 材料  n一般是1.45 K})j5CJ/  
    然后3個(gè)光學(xué)厚度的話是 180nm  現(xiàn)在電腦里面模擬下3個(gè)光學(xué)厚度下的波形,然后鍍180nm厚度的sio2  這個(gè)是電腦輸入的值 /V&$SRdL*  
    然后測(cè)試結(jié)果 vcV=9q8P1  
    sio2 測(cè)試反射比較明顯,測(cè)試出來(lái)的曲線可以用來(lái)做2件事  0m*0I >  
    1.通過測(cè)試波形 用其他軟件 可計(jì)算你現(xiàn)在鍍膜環(huán)境下的n值,如果偏差不大 可忽略啊 然后只有3個(gè)點(diǎn)的n值  算過好多機(jī)器和環(huán)境下的sio2的折射率 感覺都差不多 影響不大。 J5|Dduv  
    2.用 模擬結(jié)果的特征峰 跟  測(cè)試結(jié)果的特征峰  相除可得到tooling值,這個(gè)也是粗略的值 但是用下來(lái)還是比較方便簡(jiǎn)單的 d/R:-{J)c  
    可多次重復(fù) 得到一個(gè)比較可靠的值 eDTEy;^o  
    其實(shí)鍍膜上有好多參數(shù)可做tooling值 鍍膜時(shí)間 鍍膜面積 等,本人還是喜歡測(cè)試波形與模擬的波形的比值來(lái)表示。 0 w@~ynW[  
    ''f  
    當(dāng)然也可用tfc macleod來(lái)計(jì)算折射率,都是比較簡(jiǎn)單的,但是算法不一樣,計(jì)算結(jié)果還是有點(diǎn)偏差的,macleod的會(huì)比較好點(diǎn),會(huì)自動(dòng)修正測(cè)試結(jié)果。
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    cyqdesign 光幣 +15 原創(chuàng)內(nèi)容,獎(jiǎng)勵(lì)! 2016-01-04
     
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    離線rexchou
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2016-04-19
    我提供我自己算tooling值與N值計(jì)算。 !7 *X{D v  
    NUx%zY  
    若有勘誤地方,請(qǐng)不吝嗇指導(dǎo)。 `<\AnhNW]I  
    p|AIz3  
    N值我是利用 實(shí)際光譜值(T/R值)套入macled 利用1/4 & 1/2 點(diǎn)的位置去標(biāo)示,求出NK值。 2v%~KV  
    ,h>