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比如sio2 材料 n一般是1.45 K})j5CJ/
然后3個(gè)光學(xué)厚度的話是 180nm 現(xiàn)在電腦里面模擬下3個(gè)光學(xué)厚度下的波形,然后鍍180nm厚度的sio2 這個(gè)是電腦輸入的值 /V&$SRdL*
然后測(cè)試結(jié)果 vcV=9q8P1
sio2 測(cè)試反射比較明顯,測(cè)試出來(lái)的曲線可以用來(lái)做2件事 0m*0I>
1.通過測(cè)試波形 用其他軟件 可計(jì)算你現(xiàn)在鍍膜環(huán)境下的n值,如果偏差不大 可忽略啊 然后只有3個(gè)點(diǎn)的n值 算過好多機(jī)器和環(huán)境下的sio2的折射率 感覺都差不多 影響不大。 J5|Dduv
2.用 模擬結(jié)果的特征峰 跟 測(cè)試結(jié)果的特征峰 相除可得到tooling值,這個(gè)也是粗略的值 但是用下來(lái)還是比較方便簡(jiǎn)單的 d/R:-{J)c
可多次重復(fù) 得到一個(gè)比較可靠的值 eDTEy;^o
其實(shí)鍍膜上有好多參數(shù)可做tooling值 鍍膜時(shí)間 鍍膜面積 等,本人還是喜歡測(cè)試波形與模擬的波形的比值來(lái)表示。 0 w@~ynW[
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當(dāng)然也可用tfc macleod來(lái)計(jì)算折射率,都是比較簡(jiǎn)單的,但是算法不一樣,計(jì)算結(jié)果還是有點(diǎn)偏差的,macleod的會(huì)比較好點(diǎn),會(huì)自動(dòng)修正測(cè)試結(jié)果。