大口徑高精度斐索干涉儀球面參考鏡設(shè)計.PDF，需要的下載！ /zuU
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摘要：設(shè)計了一款口徑為30.48cm高精度斐索激光干涉儀參考鏡， 其犉數(shù)為0.82， 參考面半徑為224.99mm。所設(shè)計的參考鏡其透射波前峰谷值為0.095λ， 均方根值為0.028λ， 透射波前斜率最大值為11μrad 。理論分析了參考鏡的回程誤差對面形檢測精度的影響， 其最大值為0.29nm。 利用Zemax光學(xué)設(shè)計軟件對參考鏡進(jìn)行了仿真分析， 仿真與實驗結(jié)果表明， 該標(biāo)準(zhǔn)鏡頭可滿足精度1nm的元件面形檢測需求。
