[求助]請(qǐng)問關(guān)於MGF2之異�，F(xiàn)象 [復(fù)制鏈接]

最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發(fā)現(xiàn)有水滴狀的色斑在玻璃表面 ;:-}z.7Y  
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若無鍍MGF2則無此現(xiàn)象，推估為MGF2造成 &3!i@2d;3f  
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不知道是為什麼，且放一段時(shí)間會(huì)消失(約3~7天)，有人有預(yù)過這種情況嗎?? kO /~i  
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希望有人可以告訴我，或者提供意見交流 bEBZ!ghU  
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P.S. o}5'v^"6,  
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AR與MGF2皆為EB製程 X`8Y[Vb3}  
Ir'DA_..  
膜層結(jié)構(gòu)為 G / L / H / L / H / L / M c%o5E%  
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起鍍真空為5E-4pa

從你發(fā)的來看，應(yīng)該問題是出在放氣階段產(chǎn)生的，你可以嘗試在放氣的時(shí)候羅茨泵和機(jī)械泵接著抽2分鐘實(shí)驗(yàn)一下，我以前就是這么干的。我之前的產(chǎn)品基底是玻璃。你也可以嘗試把材料替換為二氧化硅，優(yōu)化一下膜系實(shí)驗(yàn)一下

氟化鎂形成的膜層結(jié)構(gòu)是易吸附水分子的，舉例說當(dāng)最外層氟化鎂少時(shí)，用純水 超洗可以把分光變OK,把你的加工條件濕度看下，

yangyangyang:從你發(fā)的來看，應(yīng)該問題是出在放氣階段產(chǎn)生的，你可以嘗試在放氣的時(shí)候羅茨泵和機(jī)械泵接著抽2分鐘實(shí)驗(yàn)一下，我以前就是這么干的。我之前的產(chǎn)品基底是玻璃。你也可以嘗試把材料替換為二氧化硅，優(yōu)化一下膜系實(shí)驗(yàn)一下 (2016-05-05 22:58)  5w-G]b  

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我用的材料為石英 %PNm7s4x2  
Z6HkQ=A64  
您說的沒錯(cuò) 1pBsr(  
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最外層材料換成SiO2此問題就無此現(xiàn)象 (]# JpQ  
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已經(jīng)確認(rèn)放氣時(shí)間拉長無法改善此問題

yangyangyang:從你發(fā)的來看，應(yīng)該問題是出在放氣階段產(chǎn)生的，你可以嘗試在放氣的時(shí)候羅茨泵和機(jī)械泵接著抽2分鐘實(shí)驗(yàn)一下，我以前就是這么干的。我之前的產(chǎn)品基底是玻璃。你也可以嘗試把材料替換為二氧化硅，優(yōu)化一下膜系實(shí)驗(yàn)一下 (2016-05-05 22:58)  IgVxWh#  

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我用的材料為石英 r8mE   
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您說的沒錯(cuò) b747