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    [求助]請問關(guān)於MGF2之異,F(xiàn)象 [復(fù)制鏈接]

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    離線rexchou
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2016-04-29
    此帖懸賞結(jié)束
    最佳答案:5 光幣,最佳答案獲得者:yangyangyang
    最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發(fā)現(xiàn)有水滴狀的色斑在玻璃表面 r dG2| Tp  
    QB|fFj58u  
    若無鍍MGF2則無此現(xiàn)象,推估為MGF2造成 J)yy}[Fx  
    $}nUK~$GSv  
    不知道是為什麼,且放一段時間會消失(約3~7天),有人有預(yù)過這種情況嗎?? %WT:RT_  
    <%#y^_  
    希望有人可以告訴我,或者提供意見交流 |e[0Qo@  
    *=0r>]  
    P.S. #M9D" <pn}  
    >=W#z  
    AR與MGF2皆為EB製程 a&c#* 9t{  
     T[[  
    膜層結(jié)構(gòu)為 G / L / H / L / H / L / M >dm._*M  
    Yg,WdVI&@  
    起鍍真空為5E-4pa
     
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    離線yangyangyang
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2016-05-05
    最佳答案獎勵:+5 光幣
    從你發(fā)的來看,應(yīng)該問題是出在放氣階段產(chǎn)生的,你可以嘗試在放氣的時候羅茨泵和機械泵接著抽2分鐘實驗一下,我以前就是這么干的。我之前的產(chǎn)品基底是玻璃。你也可以嘗試把材料替換為二氧化硅,優(yōu)化一下膜系實驗一下
    離線賈松山
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2016-05-27
    熱心助人獎勵:+1 光幣
    氟化鎂形成的膜層結(jié)構(gòu)是易吸附水分子的,舉例說當(dāng)最外層氟化鎂少時,用純水 超洗可以把分光變OK,把你的加工條件濕度看下,
    離線rexchou
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2016-05-09
    回 yangyangyang 的帖子
    yangyangyang:從你發(fā)的來看,應(yīng)該問題是出在放氣階段產(chǎn)生的,你可以嘗試在放氣的時候羅茨泵和機械泵接著抽2分鐘實驗一下,我以前就是這么干的。我之前的產(chǎn)品基底是玻璃。你也可以嘗試把材料替換為二氧化硅,優(yōu)化一下膜系實驗一下 (2016-05-05 22:58)  [y;ZbfMP|o  
    O|zmDp8a+  
    我用的材料為石英 'c(Y")QP  
    WR