[求助]請問關(guān)於MGF2之異�，F(xiàn)象 [復(fù)制鏈接]

最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發(fā)現(xiàn)有水滴狀的色斑在玻璃表面 Cv@ZzILyoK  
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若無鍍MGF2則無此現(xiàn)象，推估為MGF2造成 Zrtyai{8l  
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不知道是為什麼，且放一段時間會消失(約3~7天)，有人有預(yù)過這種情況嗎?? c#?JW:^|Df  
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希望有人可以告訴我，或者提供意見交流 y^vB_[6l  
/Ulv/Thl  
P.S. W0n/B&C  
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AR與MGF2皆為EB製程 5&WYL  
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膜層結(jié)構(gòu)為 G / L / H / L / H / L / M C]ev"Am_)  
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起鍍真空為5E-4pa

從你發(fā)的來看，應(yīng)該問題是出在放氣階段產(chǎn)生的，你可以嘗試在放氣的時候羅茨泵和機械泵接著抽2分鐘實驗一下，我以前就是這么干的。我之前的產(chǎn)品基底是玻璃。你也可以嘗試把材料替換為二氧化硅，優(yōu)化一下膜系實驗一下

氟化鎂形成的膜層結(jié)構(gòu)是易吸附水分子的，舉例說當最外層氟化鎂少時，用純水 超洗可以把分光變OK,把你的加工條件濕度看下，

yangyangyang:從你發(fā)的來看，應(yīng)該問題是出在放氣階段產(chǎn)生的，你可以嘗試在放氣的時候羅茨泵和機械泵接著抽2分鐘實驗一下，我以前就是這么干的。我之前的產(chǎn)品基底是玻璃。你也可以嘗試把材料替換為二氧化硅，優(yōu)化一下膜系實驗一下 (2016-05-05 22:58)  JJL#Y  

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