一種便攜式光學表面輪廓儀,需要的下載。 iC#a+G*N_M
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摘要:研究了一種基于短相干光相移干涉法的便攜式光學表面輪廓儀,分析了短相干光干涉顯微鏡相移干涉技術,實現(xiàn)了基于該項技術的光干涉顯微系統(tǒng)。采用光路集成化的設計方法,實現(xiàn)了一體化輪廓儀光路集成,優(yōu)化了機械三維調整測量臺,實現(xiàn)了可用于大、小口徑元件表面測量的正置、倒置兩種測量模式。測試結果表明,儀器的粗糙度測量精度為0.1 nm,重復性誤差優(yōu)于0.01 nm,橫向分辨率優(yōu)于1μm。