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    [分享]一種便攜式光學(xué)表面輪廓儀 [復(fù)制鏈接]

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    離線ttb2016
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2016-06-02
    關(guān)鍵詞: 光學(xué)輪廓儀
    一種便攜式光學(xué)表面輪廓儀,需要的下載 g>T  
    &`@lB (m  
    摘要:研究了一種基于短相干光相移干涉法的便攜式光學(xué)表面輪廓儀,分析了短相干光干涉顯微鏡相移干涉技術(shù),實(shí)現(xiàn)了基于該項(xiàng)技術(shù)的光干涉顯微系統(tǒng)。采用光路集成化的設(shè)計(jì)方法,實(shí)現(xiàn)了一體化輪廓儀光路集成,優(yōu)化機(jī)械三維調(diào)整測(cè)量臺(tái),實(shí)現(xiàn)了可用于大、小口徑元件表面測(cè)量的正置、倒置兩種測(cè)量模式。測(cè)試結(jié)果表明,儀器的粗糙度測(cè)量精度為0.1 nm,重復(fù)性誤差優(yōu)于0.01 nm,橫向分辨率優(yōu)于1μm。
    附件: 一種便攜式光學(xué)表面輪廓儀.rar (3614 K) 下載次數(shù):54 ,售價(jià):2光幣[記錄](méi)
    1條評(píng)分 ,光幣+10
    cyqdesign 光幣 +10 - 2016-06-02
     
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    離線jsdyf
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2018-08-31
    好資料,下載學(xué)習(xí)下
    離線liqiuguo
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2019-05-24
    真是太感謝了真是太感謝了
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2020-09-27
    先下后看,怎么不能出一個(gè)預(yù)覽功能啊
    離線lqqmuc2009
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2021-05-28
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