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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2006-10-14

日本東曹公司通過向透明導電薄膜用的氧化鋅摻雜鋁，開發(fā)出"ZAO"靶材，并已開始供應樣品。該材料有望替代ITO（氧化銦錫）靶材，用于液晶顯示器TFT（薄膜晶體管）的像素電極、TN（扭曲向列）液晶和太陽能電池。已制成可用于TFT的膜厚為100nm、電阻率為10－4Ωcm的ZAO透明導電薄膜。