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案例514（2.0） )>r sX) 3 \Tqs 該應(yīng)用案例演示了對亞波長尺寸的抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析與優(yōu)化。此外，對直徑和高度等結(jié)構(gòu)參數(shù)的影響進(jìn)行了研究，并說明了反射率對波長及入射角變化的敏感度。 `+]e}*7$f
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*YvveW 1. 建模任務(wù) #p7_\+&5s y*vg9`$k
對全部反射光進(jìn)行嚴(yán)格仿真并對結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化。 ewOe A|
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假設(shè)確定的蛾眼結(jié)構(gòu)作為截錐三維光柵。 (3
]!ZV 2. 建模任務(wù)：3維平頂錐 "YoFUfaNg ! D~\uW1b 3. 3維光柵結(jié)構(gòu)建模 ,#8H9<O9t ( yv)zg9 >goG\y
VirtualLab提供了不同預(yù)定義的光學(xué)界面用來簡化復(fù)雜3維光柵的設(shè)計。 txFcV
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例如截錐金字塔和錐體可從現(xiàn)有目錄中選擇。 CQh6;[ \:
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可將周期性再現(xiàn)功能應(yīng)用于任意形狀光學(xué)界面，用來建立微透鏡陣列或混合透鏡。 / 0y5/ 4. 結(jié)構(gòu)參數(shù) "VI2--%v3
4 )].{Z4 q 優(yōu)化過程中保持不變的參數(shù)： JX qwy^f 1. 高度因子：1(該參數(shù)可用于翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)) miEf<<L#z 2. 底部直徑：125nm ZeE(gtM 3. 周期尺寸：125nm Ch7&9NW 優(yōu)化過程中變化的參數(shù)： 9HG"
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