摘要：為了在激光退火工作面上獲得高均勻度光斑，研究了雙復(fù)眼透鏡陣列光束勻化法中兩透鏡陣列間相對(duì)位置變化對(duì)勻化性能的影響。利用光線追跡方法，模擬了雙復(fù)眼透鏡陣列間 6 個(gè)自由度的相對(duì)位置誤差與光束勻化效果的依賴關(guān)系，發(fā)現(xiàn)第二復(fù)眼透鏡陣列的滾轉(zhuǎn)角偏差是影響光束勻化質(zhì)量的最敏感因素。為實(shí)現(xiàn)較好的勻化效果， 需要對(duì)復(fù)眼透鏡陣列位置進(jìn)行精確控制。結(jié)果表明，使用專用鏡架對(duì)透鏡位置進(jìn)行精確控制后， 光束均勻度達(dá)到 0． 039。該系統(tǒng)成功應(yīng)用于激光退火裝置，實(shí)現(xiàn)了超淺結(jié)激光退火。
