切換到寬版
  • 廣告投放
  • 稿件投遞
  • 繁體中文
    • 14866閱讀
    • 9回復

    [分享]微透鏡的制作工藝 [復制鏈接]

    上一主題 下一主題
    離線ttb2016
     
    發(fā)帖
    1069
    光幣
    12841
    光券
    0
    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2017-03-21
    關鍵詞: 微透鏡
    透鏡陣列作為一種重要的光學元件,具有體積小、重量輕、集成度高的特點,吸引了大量的目光。伴隨著半導體工業(yè)的發(fā)展,光刻和微細加工技術的提高,自上世紀八十年代起,相繼出現(xiàn)了一系列嶄新的微透鏡陣列制作技術。由于透鏡陣列器件分為折射型微透鏡陣列和衍射型微透鏡陣列,它們在制作工藝也開發(fā)出不同的方法。 Fo.p}j+>  
    ` zoC++hx  
    )&px[Dbx  
    1.折射微透鏡的制作方法 wdMVy=SS  
    jt?DogYx  
    由于折射微透鏡陣列器件在聚光、準直、大面陣顯示、光效率增強、光計算、光互連及微型掃描等方面越來越廣泛的應用,它的制作工藝和方法得到了日益深入的研究。到目前為止,已經(jīng)出現(xiàn)很多制備折射微透鏡陣列的方法,光刻膠熱回流方法、激光直寫方法、微噴打印法、溶膠一凝膠法、反應離子刻蝕法、灰度掩模法、熱壓模成型法、光敏玻璃熱成型法刪等。下面主要介紹幾種主流的微透鏡陣列制作方法。 ,^n5UA`PK  
    !+o`,K