摘要：我們使用近似的物理光學(xué)模模擬了半徑的測(cè)量。使用簡單的幾何光線模型替換復(fù)雜的物理光學(xué)模型，可以確定在測(cè)量中的偏差。 !~Vo'ykwx' .1n=&d| 1. 簡介 2-!OflkoM0
wJyrF 半徑干涉測(cè)量通常通過簡單的幾何模型來模擬，即，來自物鏡（或標(biāo)準(zhǔn)透鏡）的光線形成錐形并且聚焦到一點(diǎn)[1]。當(dāng)測(cè)試光學(xué)器件變小和/或需要更高的精度時(shí)，這個(gè)簡單的幾何模型就會(huì)產(chǎn)生問題并得到錯(cuò)誤的半徑測(cè)量值。需要完整的物理光學(xué)模型來捕獲系統(tǒng)的衍射效應(yīng)和像差。 [.J&@96,b
ha[c<e]uo[ 半徑干涉測(cè)量的原理圖如圖1所示。菲索或泰曼格林干涉儀都可用于半徑測(cè)量。在菲索干涉儀中，標(biāo)準(zhǔn)透鏡用作聚焦元件、分束和參考表面。在泰曼格林干涉儀中，使用分束器將光分成參考反射鏡和物鏡，它可以將光束聚焦到測(cè)試部件。 <Qg).n >;z
^*s DJ # 通過首先將部件放置在共焦位置，然后將部件移動(dòng)到貓眼位置，并測(cè)量部件移動(dòng)的距離，來測(cè)量測(cè)試部件的半徑，該距離就是測(cè)試部件的半徑。當(dāng)澤尼克多項(xiàng)式[1]的離焦項(xiàng)為零時(shí)，共焦和貓眼位置重合。在視覺上，靶心環(huán)是空的。因?yàn)椴僮髡卟荒軐⒉考䴗?zhǔn)確地放置在所需的位置，所以用于確定共焦和貓眼位置的最準(zhǔn)確的方法是逐步通過這兩個(gè)位置。當(dāng)操作者以小步幅移動(dòng)部件通過共焦和貓眼時(shí)，我們記錄離焦和Z位置。然后，我們用一條線擬合離焦VS.Z位置。共焦和貓眼位置是Z位置軸上的截距。這種通過共焦和貓眼步進(jìn)的方法可用于精確半徑測(cè)量[2]，我們?cè)谶@里用于半徑測(cè)量的模擬。 ?*DM|hzOi
?tzJ7PJ~B 圖1：半徑干涉測(cè)量幾何模型原理圖 mzw`{Oy>L
在NIST的精密半徑干涉測(cè)量實(shí)驗(yàn)顯示了標(biāo)稱24.466mm半徑的Zerodur球的測(cè)量之間的差異。球體由坐標(biāo)測(cè)量儀機(jī)械測(cè)量，同時(shí)在使用不同標(biāo)準(zhǔn)透鏡的干涉儀上光學(xué)測(cè)量[2]。即使考慮了測(cè)量中的所有已知偏差和不確定性，這種在75nm至400nm范圍內(nèi)的差異仍然存在。對(duì)于這種差異的解釋可能是光被假定遵循幾何模型而不是更準(zhǔn)確的物理光學(xué)模型，我們將在這里進(jìn)行測(cè)試。 ?,s]5
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