[求助]玻璃鍍膜后膜內(nèi)起白霧，跪求大神們討論產(chǎn)生原因 [復制鏈接]

①DOME溫度過高，可以嘗試降低溫度。 Mj5=
t:MI  
②預清潔功率過大或時間過長，造成基板表面粗糙度增大引起發(fā)霧。 |x3&#(Tf  
③H4和MGF2鍍增透膜的話，可以溫度設(shè)定在300℃左右。

ouyuu:沒人覺得是散射嗎？ LlL\7?_;  
問題還在結(jié)晶上，試著調(diào)整一下鍍膜溫度和速率，還有充氧。 eSoOJ[&$  
其實有離子源會更好些。 (2017-08-21 17:22)  vG#|CO9  

]"q[hF*PM  
溫度、速率還有充氧具體要像哪個方向調(diào)節(jié)呢，比如說沖多點氧還是少點

dcfcwdx:溫度、速率還有充氧具體要像哪個方向調(diào)節(jié)呢，比如說沖多點氧還是少點 (2018-08-30 13:27)  mJ<rzX  

cQzd0X  
這個只有自己慢慢試。改變條件可以改變結(jié)晶大小，但是哪個更好要自己試的。

問題弄好了嗎？

起霧有時候不一定是膜的問題。玻璃基片洗不凈的情況下也有可能導致起霧，玻璃認真清潔或者用手擦拭后鍍膜試一下。

鍍膜溫度過高，氧化鈦高溫下結(jié)晶發(fā)霧！

發(fā)蒙或者發(fā)霧可以從工藝和膜料入手排查原因，如果只鍍氟化鎂和H4的話，問題應(yīng)該在H4上面

會不會溫度過高

還有你的基底材料是什么？加了離子源沒有？

膜外⽩霧 _T6WA&;8  
現(xiàn)象：鍍膜完成后，表⾯有⼀些淡淡的⽩霧，⽤丙酮或混合液擦拭，會有越擦越嚴重的現(xiàn)象。 igOjlg_Q  
⽤氧化鈰粉擦拭，可以擦掉或減輕，（⼜稱：可擦拭壓克） LV0g *ng  
分析：膜外⽩霧的成因較為復雜，可能的成因有： mdypZ