[求助]玻璃鍍膜后膜內(nèi)起白霧，跪求大神們討論產(chǎn)生原因 [復(fù)制鏈接]

①DOME溫度過(guò)高，可以嘗試降低溫度。  T.{sO`  
②預(yù)清潔功率過(guò)大或時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，造成基板表面粗糙度增大引起發(fā)霧。 &/7D4!N]  
③H4和MGF2鍍?cè)鐾改さ脑�，可以溫度設(shè)定在300℃左右。

ouyuu:沒(méi)人覺(jué)得是散射嗎？ z DP  
問(wèn)題還在結(jié)晶上，試著調(diào)整一下鍍膜溫度和速率，還有充氧。 bHi0N@W!vG  
其實(shí)有離子源會(huì)更好些。 (2017-08-21 17:22)  >Y h7By  

GomTec9.  
溫度、速率還有充氧具體要像哪個(gè)方向調(diào)節(jié)呢，比如說(shuō)沖多點(diǎn)氧還是少點(diǎn)

dcfcwdx:溫度、速率還有充氧具體要像哪個(gè)方向調(diào)節(jié)呢，比如說(shuō)沖多點(diǎn)氧還是少點(diǎn) (2018-08-30 13:27)  bN,>,hj  

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這個(gè)只有自己慢慢試。改變條件可以改變結(jié)晶大小，但是哪個(gè)更好要自己試的。

問(wèn)題弄好了嗎？

起霧有時(shí)候不一定是膜的問(wèn)題。玻璃基片洗不凈的情況下也有可能導(dǎo)致起霧，玻璃認(rèn)真清潔或者用手擦拭后鍍膜試一下。

鍍膜溫度過(guò)高，氧化鈦高溫下結(jié)晶發(fā)霧！

發(fā)蒙或者發(fā)霧可以從工藝和膜料入手排查原因，如果只鍍氟化鎂和H4的話，問(wèn)題應(yīng)該在H4上面

會(huì)不會(huì)溫度過(guò)高

還有你的基底材料是什么？加了離子源沒(méi)有？

膜外⽩霧 sUaUZO2V  
現(xiàn)象：鍍膜完成后，表⾯有⼀些淡淡的⽩霧，⽤丙酮或混合液擦拭，會(huì)有越擦越嚴(yán)重的現(xiàn)象。 o8 A]vaa  
⽤氧化鈰粉擦拭，可以擦掉或減輕，（⼜稱：可擦拭壓克） 8 S'g%  
分析：膜外⽩霧的成因較為復(fù)雜，可能的成因有： ya8
1z4?  
① 膜結(jié)構(gòu)問(wèn)題：外層膜的柱狀結(jié)構(gòu)松散，外層膜太粗糙； 9Fe(],AzF  
② 蒸發(fā)⾓過(guò)⼤，膜結(jié)構(gòu)粗糙。 =1dU~B:Lm  
③ 溫差：鏡⽚出罩時(shí)內(nèi)外溫差過(guò)⼤ "W_C%elg  
④ 潮⽓；鏡⽚出罩后擺放環(huán)境的潮⽓ 5lp L$  
⑤ 真空室內(nèi)POLYCOLD解凍時(shí)⽔汽過(guò)重 G