lovsilence:回復(fù)一下看看資料,一直搞不清為什么RF離子源國內(nèi)做不了
(2019-02-01 14:22) Ea3 4x
I*8_5?)g< 首先是柵網(wǎng)
SyR[G*djl 1,柵網(wǎng)材料現(xiàn)在選用的是進口材料,晶格的均勻性和內(nèi)應(yīng)力控制上,國內(nèi)材料還達不到國外的水準(zhǔn)。柵網(wǎng)使用時溫度可以達到1000多度,國產(chǎn)材料在這種溫度下很難控制變形量。而柵網(wǎng)的孔只要不是在一條直線上,離子輸出能量和輸出均勻性就會受很大影響。
)TgjaR9G 2,即使用了進口材料,國內(nèi)的機床加工精度還達不到日本的水平。
FYeUz$/ 3,只要三片柵網(wǎng)的孔沒有對準(zhǔn),實際離子輸出就會受影響。原廠柵網(wǎng)在出廠前會進行檢測,然后根據(jù)結(jié)果對三片柵網(wǎng)進行匹配,所以一般原廠柵網(wǎng)輸出效率能達到90%左右。國產(chǎn)的我樂觀估計60%就不錯了。
C`C$i>X7^ ed7Hz#Qc 其次是匹配和軟件
RIxGwMi% 根據(jù)氣體不同,RF射頻的相位匹配很重要,這個需要根據(jù)經(jīng)驗進行微調(diào)。
jQ Of+ZE 還有軟件上需要人員進行開發(fā)。如果不是自己生產(chǎn)的鍍膜機,和鍍膜機的聯(lián)動也是個問題。
`]g}M, 所以一般是鍍膜機廠家自己開發(fā),獨立開發(fā)的話,后期服務(wù)需要大量人手,其實利潤不高的。