本文分析了使用樣板檢測大口徑平凸
透鏡的弊端,細(xì)述了用刀口儀檢測大直徑凸面透鏡的相關(guān)計算方法和操作過程,并用實例加以證明。
}DJ|9D^yf N>Vacc_[ 光學(xué)檢測中刀口儀在對球面光學(xué)元件的檢測一般局限于對凹反射鏡的面形及曲率進行檢驗,對于凸透鏡的面形檢驗一般利用光學(xué)樣板進行判定,但光學(xué)零件樣板的最大直徑為130mm,對于直徑在140mm以上的平凸透鏡進行檢驗有一定局限性降低了檢驗精度,如圖1所示。其次用樣板直接接觸元件表面容易對光學(xué)元件表面造成破壞,此時如果借助于一些大型的光學(xué)檢測儀器,例如 zygo 干涉儀,利用此類大型儀器的優(yōu)勢在于檢測的結(jié)果精密,光學(xué)元件的檢測結(jié)果可以量化,但是由于zygo干涉儀的價格昂貴,體積較為龐大,且對周圍的檢測環(huán)境要求較高,種種因素大幅提高光學(xué)檢測的成本,在這種情況之下我們提出利用便于攜帶、價格低廉的刀口儀對凸透鏡反射面面形與元件內(nèi)部
材料均勻性進行的檢測。本文基于以上幾點對用刀儀對凸透鏡的內(nèi)反射檢驗進行了詳細(xì)闡述。
eo>/ TP{>O%b C}n[?R 本部分內(nèi)容設(shè)定了隱藏,需要回復(fù)后才能看到