利用Zemax光學(xué)設(shè)計(jì)軟件設(shè)計(jì)了一款適用于光學(xué)成像尺寸為38 mm的互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS)型工業(yè)相機(jī)的高分辨率測量鏡頭,該工業(yè)相機(jī)用于自動(dòng)化定量分析檢測顯微鏡像差。通過數(shù)碼圖像處理的方式去評判顯微鏡物鏡性能的好壞。在滿足性能要求基礎(chǔ)上,對普通的測量鏡頭結(jié)構(gòu)加以優(yōu)化,使得測量鏡頭擁有非常高的分辨率。該鏡頭焦距為36 mm,后工作距約為32 mm,視場像面高度為36 mm,在90 lp/mm處,中心視場調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF)值大于0.45,邊緣視場MTF值大于0.25。