[求助]高反膜機差問題 [復制鏈接]

求助大神，LED芯片背鍍DBR高反膜，同樣的膜系，不同的光馳新舊機臺作業(yè)后亮度有差異，到底是什么造成的？？

DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？

奔跑的小駿馬:DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？ (2018-01-29 09:51)  S:B$c>  

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氧化硅和氧化鈦

有試著量測表面粗糙度嗎(使用AFM之類的) ca=sc[ $+  
W&~\@j]!D  
若有差異，可能要比對一下背景壓力、鍍率等等 K_
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奔跑的小駿馬:DBR是什么意思�。磕阕龅母叻茨な怯玫纳赌ち�？ (2018-01-29 09:51)  x)jc  

5O(U1 *  
鍍膜的DBR就是介電質的反射鏡 -lqD
  
NQxx_3*4O  
主要利用高低折射率1/4波長去堆疊而成 EfB.K}b^  
:qc?FQ ;  
會依照每個客戶針對的波長去做設計 XRmE  
:HM~!7e  
可應用在LED 激光 等等

懷疑是排氣能力差異。 rB-R(2 CCN  
開鍍真空一樣嗎？都開充氧了嗎？充氧壓力多少？

好的，謝謝～

開鍍真空一樣，充氧壓力為1.93E-2Pa

如果有空的話，兩臺機各鍍一下單層，然后測一下PEAK比對一下。 ?^J%S,  
一般SiO2折射率比較穩(wěn)定，既然有充氧，吸收也不太會有問題。 PZvc4  
問題很可能出在TiO2上。TiO2的折射率和吸收不太穩(wěn)定。 k{'<J(Hb  

ouyuu:如果有空的話，兩臺機各鍍一下單層，然后測一下PEAK比對一下。 5