性能說明:
i@zY9,b Quartz晶體感應(yīng)片是至今為止制造的電氣產(chǎn)品中最敏感的產(chǎn)品。用于薄膜涂層時(shí)可以檢測(cè)到1微微米(1兆分之1)大小的范圍。這類似于1原子厚度的涂膜層。同時(shí),晶體對(duì)熱很敏感,可以對(duì)1/100度以下的溫度變化作出反應(yīng)。并且,Quartz晶體感應(yīng)片在完成階段中對(duì)應(yīng)力反應(yīng)敏感,可以探測(cè)到原子的移動(dòng),這一原子的移動(dòng)是在典型的光學(xué)鍍膜作業(yè)中,鍍膜于晶體上的薄膜發(fā)生冷卻時(shí)發(fā)生。你也許會(huì)對(duì)像光學(xué)鏡片鍍膜一樣的大規(guī)模作業(yè)中用這種敏感的感應(yīng)片怎樣進(jìn)行作業(yè)產(chǎn)生疑問。
/fwgqFVk 簡(jiǎn)單地說可以勉強(qiáng)地進(jìn)行作業(yè)。除了GOLD及鋁或SILVER一樣應(yīng)力低的物質(zhì)以外,其他大部分的鍍膜工藝立即就能把感應(yīng)片毀壞。像MgF2那樣代表性的防止反射鍍膜工藝是用高溫(超過300度)和高的應(yīng)力(晶體上鍍膜的薄膜冷卻時(shí)發(fā)生)給感應(yīng)片雙重致命打擊。晶體暫時(shí)裸露在MgF2時(shí)可以看到在RATE或厚度上以陽(yáng)離子形式進(jìn)行不規(guī)則反應(yīng)的情況。像Zirconium或chromium一樣應(yīng)力高的金屬膜也是一樣的。
gx;O6S{ 注意事項(xiàng):
D:E9!l' (1) 絕對(duì)不能觸摸感應(yīng)片的中間部位:因這一部位是活躍的震動(dòng)部位。任何油跡或灰塵及擦傷都能引起感應(yīng)片造成震動(dòng)能力下降。操作時(shí)要使用塑膠夾子夾住感應(yīng)片邊緣。
m{(+6-8|m (2) 2清潔感應(yīng)片托架,防止感應(yīng)片的前后中央部分接觸任何物質(zhì)。并且,放入感應(yīng)片時(shí)感應(yīng)片和托架之間如果進(jìn)入異物或產(chǎn)生任何缺陷都會(huì)防礙電極的接觸,并且發(fā)生涉及到感應(yīng)片震動(dòng)形態(tài)的應(yīng)力點(diǎn)
: F9|&q-W, (3) 3放入托架內(nèi)以后盡量用輕微的AIR噴射器(過濾過的沒有油水的空氣)進(jìn)行吹氣操作,清除作業(yè)時(shí)不小心粘在感應(yīng)片上的微小鍍膜碎片或灰塵。
l[YEKg (4) 4感應(yīng)片的HEAD應(yīng)該用充分的攝氏20-50度的冷卻水保持。
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