鎳的熔點(diǎn)很低的,最初的射頻源中和器陰極大多數(shù)采用鎳。 6l4mS~/
現(xiàn)在隨著離子源能量的提高,原廠中和器陰極應(yīng)該是用的其他耐高溫金屬。 q|LDo~H
不過(guò)鎳杯這個(gè)名稱被沿襲下來(lái)了。 Z%x\~)~
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你是要防止陰極氧化還是防止陰極蒸發(fā)? HO''&hz
防止氧化的話只有提高氬氣純度,增加鍍膜后的冷卻時(shí)間。 /0eYMG+K=
防止陰極蒸發(fā)的話,就必須用原廠陶瓷。 xQ'2BAEa
副廠陶瓷絕緣性不好,電流損耗大,會(huì)造成過(guò)熱。