在茫茫宇宙中，一個類金屬合金宇宙
探測器以超光速掠過，它由被強(qiáng)互作用力鎖死的質(zhì)子與中子構(gòu)成，因表面絕對光滑而可以反射一切電磁波，并且無堅不摧……這是劉慈欣在科幻小說《三體》中提到的一種名叫“水滴”的宇宙飛行器。
dNd( 57 ,kiyx h^ 事實上，人類對“絕對光滑”的追求也已經(jīng)從科學(xué)幻想轉(zhuǎn)變?yōu)閷嵺`，比如推動“集成
電路變身革命”的超精密
拋光技術(shù)。像《三體》中描述的一樣，當(dāng)前最為先進(jìn)的化學(xué)機(jī)械拋光（chemical mechanical polishing，CMP）技術(shù)也已進(jìn)入原子尺寸級。而當(dāng)
電子工業(yè)強(qiáng)國爭相攀登或到達(dá)這一工藝巔峰之時，我們卻還只能仰望。
HX\^ecZ#E G}ZJ}5 h 現(xiàn)代電子工業(yè)，超精密拋光是靈魂 CsfGjqpf @AM;58. 物理拋光是上世紀(jì)80年代之前最為常用的拋光技術(shù)，但是電子工業(yè)的高速發(fā)展對
材料器件的尺寸、平整度提出越來越嚴(yán)苛的要求。當(dāng)一塊毫米厚度的基片需要被制成幾十萬層的集成電路時，傳統(tǒng)老舊的拋光工藝已經(jīng)遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能達(dá)到要求。
(Q~ p"Ch @T>\pP]o VnqgN “以晶片制造為例，拋光是整個工藝的最后一環(huán)，目的是改善晶片加工前一道工藝所留下的微小缺陷以獲得最佳的平行度。”中科院國家
納米科學(xué)中心研究院王奇博士向科技日報記者介紹。
hfzmv~ * aYc*v5Q N3 今天的
光電子信息產(chǎn)業(yè)水平，對作為光電子基片材料的藍(lán)寶石、單晶硅等材料的平行度要求越來越精密，已經(jīng)達(dá)到了納米級。這就意味著，拋光工藝也已隨之進(jìn)入納米級的超精密程度。
>drG,v0qh .dqV fa 超精密拋光工藝在現(xiàn)代制造業(yè)中有多重要，其應(yīng)用的領(lǐng)域能夠直接說明問題：集成電路制造、醫(yī)療器械、汽車配件、數(shù)碼配件、精密
模具、航空航天。
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