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    [轉(zhuǎn)載]精密和超精密加工技術(shù)的新進(jìn)展 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2007-01-15
    — 本帖被 cyqdesign 從 機(jī)械加工與制造 移動(dòng)到本區(qū)(2010-12-09) —
    精密和超精密加工技術(shù)的新進(jìn)展 iQ C&d_#  
    袁哲俊 哈爾濱工業(yè)大學(xué) L.[uMuUa  
    KocXSh U  
    摘要:精密和超精密加工技術(shù)的發(fā)展,直接影響尖端技術(shù)和國(guó)防工業(yè)的發(fā)展.世界各國(guó)都極為重視,投入很 大力量進(jìn)行開(kāi)發(fā)研究,故近年來(lái)發(fā)展迅速. d}cJ5 !d  
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    1.概述 e*6` dz@  
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    精密和超精密加工技術(shù)的發(fā)展,直接影響到一個(gè)國(guó)家尖端技術(shù)和國(guó)防工業(yè)的發(fā)展,因此世界各國(guó)對(duì)此都極為重視,投入很大力量進(jìn)行研究開(kāi)發(fā),同時(shí)實(shí)行技術(shù)保密,控制關(guān)鍵加工技術(shù)及設(shè)備出口。隨著航空航天、高精密儀器儀表、慣導(dǎo)平臺(tái)、光學(xué)和激光等技術(shù)的迅速發(fā)展和多領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用,對(duì)各種高精度復(fù)雜零件、光學(xué)零件、高精度平面、曲面和復(fù)雜形狀的加工需求日益迫切。目前國(guó)外已開(kāi)發(fā)了多種精密和超精密車(chē)削、磨削、拋光等機(jī)床設(shè)備,發(fā)展了新的精密加工和精密測(cè)量技術(shù)。 3#9r4;&  
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    我國(guó)目前已是一個(gè)“制造大國(guó)”,制造業(yè)規(guī)模名列世界第四位,僅次于美國(guó)、日本和德國(guó),近年來(lái)在精密加工技術(shù)和精密機(jī)床設(shè)備制造方面也取得了不小進(jìn)展。但我國(guó)還不是一個(gè)“制造強(qiáng)國(guó)”,與發(fā)達(dá)國(guó)外相比仍有較大差距。我國(guó)每年雖有大量機(jī)電產(chǎn)品出口,但多數(shù)是技術(shù)含量較低、價(jià)格亦較便宜的中低檔產(chǎn)品;而從國(guó)外進(jìn)口的則大多是技術(shù)含量高、價(jià)格昂貴的高檔產(chǎn)品。目前我國(guó)每年需進(jìn)口大量國(guó)內(nèi)尚不能生產(chǎn)的精密數(shù)控機(jī)床設(shè)備和儀器,例如,2003年我國(guó)進(jìn)口了價(jià)值41.6億美元的機(jī)床,而出口機(jī)床僅為3.8億美元,且主要為低精度的普通機(jī)床。2004年我國(guó)進(jìn)口機(jī)床為57.8億美元,出口機(jī)床僅為5.2億美元。2005年我國(guó)機(jī)床總產(chǎn)值約為50億美元,出口機(jī)床為8億美元,而進(jìn)口機(jī)床則達(dá)到67億美元。 \1C!,C  
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    由于國(guó)外一些重要的高精度機(jī)床設(shè)備和儀器對(duì)我國(guó)實(shí)行封鎖禁運(yùn),而這些精密設(shè)備儀器正是我國(guó)發(fā)展國(guó)防工業(yè)和尖端技術(shù)所迫切需要的,因此,為了使我國(guó)的國(guó)防和科技發(fā)展不受制于人,我們必須投入必要的人力物力,自主發(fā)展精密和超精密加工技術(shù),爭(zhēng)取盡快將我國(guó)的精密和超精密加工技術(shù)水平提升到世界先進(jìn)水平。下面對(duì)國(guó)內(nèi)外精密和超精密加工技術(shù)的最新發(fā)展情況介紹如下。 SJ7=<y}[d  
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    2.精密機(jī)床技術(shù)的發(fā)展 6ilC#yyp  
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    精密機(jī)床是精密加工的基礎(chǔ)。當(dāng)今精密機(jī)床技術(shù)的發(fā)展方向是:在繼續(xù)提高精度的基礎(chǔ)上,采用高速切削以提高加工效率,同時(shí)采用先進(jìn)數(shù)控技術(shù)提高其自動(dòng)化水平。瑞士DIXI公司以生產(chǎn)臥式坐標(biāo)鏜床聞名于世,該公司生產(chǎn)的DHP40高精度臥式高速鏜床已增加了多軸數(shù)控系統(tǒng),成為一臺(tái)加工中心;同時(shí)為實(shí)現(xiàn)高速切削,已將機(jī)床主軸的最高轉(zhuǎn)速提高到24000r/min。瑞士MIKROM公司的高速精密五軸加工中心的主軸最高轉(zhuǎn)速為42000r/min,定位精度達(dá)5μm,已達(dá)到過(guò)去坐標(biāo)鏜床的精度。從這兩臺(tái)機(jī)床的性能可以看出,現(xiàn)在的加工中心與高速切削機(jī)床之間已不再有嚴(yán)格的界限劃分。 OrJlHMz  
    ff./DMDafI  
    3.使用金剛石刀具的超精密切削技術(shù)3.1 超精密切削技術(shù)的進(jìn)展 C{i;spc!bi  
    B%:9P  
    金剛石刀具超精密切削技術(shù)是超精密加工技術(shù)的一個(gè)重要組成部份,不少國(guó)防尖端產(chǎn)品零件(如陀螺儀、各種平面及曲面反射鏡和透鏡、精密儀器儀表和大功率激光系統(tǒng)中的多種零件等)都需要利用金剛石超精密切削來(lái)加工。 xp8f  
    ^*ez j1  
    使用單晶金剛石刀具在超精密機(jī)床上進(jìn)行超精密切削,可以加工出光潔度極高的鏡面。超精密切削的切削厚度可極小,最小切削厚度可至1nm。超精密切削使用的單晶金剛石刀具要求刃口極為鋒銳,刃口半徑在0.5~0.01μm。因刃口半徑甚小,過(guò)去對(duì)刃口的測(cè)量極為困難,現(xiàn)在已可用原子力顯微鏡(AFM)方便地進(jìn)行測(cè)量。  53*, f  
    9AddF*B  
    3.2 超精密切削機(jī)理的研究 4FE@s0M,  
    : tqm2t  
    對(duì)超精密切削機(jī)理的研究近年來(lái)有了不少進(jìn)展。例如,超精密切削脆性材料時(shí),加工表面可以不產(chǎn)生脆性破裂痕跡而獲得鏡面,這涉及到極薄切削時(shí)脆性材料塑性切除的脆塑轉(zhuǎn)換問(wèn)題,最近對(duì)此提出了不少新見(jiàn)解。由超精密切削玻璃的實(shí)驗(yàn)結(jié)果可見(jiàn),開(kāi)始時(shí)切削厚度甚小,切除機(jī)理為塑性去除,加工表面無(wú)脆性破損痕跡。隨著切削厚度的增大,塑性切除逐漸轉(zhuǎn)化為脆性破裂去除,加工表面可見(jiàn)到明顯的脆性破損痕跡。 ?r E]s!K  
    mS~ ]I$  
    目前,使用計(jì)算機(jī)仿真和分子動(dòng)力學(xué)模擬等方法對(duì)超精密切削過(guò)程及機(jī)理的研究獲得了很好效果,一方面深化了對(duì)極薄層材料切削去除機(jī)理的認(rèn)識(shí),同時(shí)可以對(duì)超精密切削效果作出比較準(zhǔn)確的預(yù)報(bào)。由超精密切削所形成加工表面的計(jì)算機(jī)仿真模擬預(yù)測(cè)和計(jì)算機(jī)仿真預(yù)測(cè)超精密切削單晶鋁不同晶面時(shí)的切削力可以看到,由于晶體的各向異性,導(dǎo)致在不同方向的切削力是不相等的。利用對(duì)超精密切削過(guò)程的分子動(dòng)力學(xué)模擬,可以對(duì)超精密切削極薄層材料的動(dòng)態(tài)切除過(guò)程進(jìn)行觀察和分析,并能對(duì)切除過(guò)程進(jìn)行動(dòng)畫(huà)演示。 /j69NEl  
    >aC\_Mc  
    3.3 新的金剛石刀具晶體定向方法 fQy C6C  
    V;hwAQbF  
    由于金剛石硬度極高,且晶體各向異性,因此單晶金剛石刀具的刃磨極為困難。制造金剛石刀具及刃磨時(shí)都需要對(duì)晶體定向,過(guò)去的晶體定向方法主要是使用X光晶體定向儀,儀器昂貴,且定向操作相當(dāng)繁瑣。哈爾濱工業(yè)大學(xué)成功開(kāi)發(fā)了一種新的激光晶體定向方法,所用設(shè)備較簡(jiǎn)單,且定向操作方便,可使金剛石晶體定向大大簡(jiǎn)化。 3) c K*8#  
    69j~?w)^  
    4.超精密加工機(jī)床的進(jìn)展 5 -WRv;  
    -S%q!%}u  
    4.1 國(guó)外超精密機(jī)床的發(fā)展情況 2 ssj(Qo  
    kAB+28A  
    研發(fā)超精密機(jī)床是發(fā)展超精密加工的重要前提條件。近年來(lái)發(fā)達(dá)國(guó)家已成功開(kāi)發(fā)了多種先進(jìn)的超精密加工機(jī)床。超精密機(jī)床的發(fā)展方向是:進(jìn)一步提高超精密機(jī)床的精度,發(fā)展大型超精密機(jī)床,發(fā)展多功能和高效專用超精密機(jī)床。 o|;eMO-  
    #W%)$k c  
    美、英、德等國(guó)在上世紀(jì)七十年代(日本在八十年代)即開(kāi)始生產(chǎn)超精密機(jī)床產(chǎn)品,并可批量供貨。在大型超精密機(jī)床方面,美國(guó)的LLL國(guó)家實(shí)驗(yàn)室于1986年研制成功兩臺(tái)大型超精金剛石車(chē)床:一臺(tái)為加工直徑2.1m的臥式DTM-3金剛石車(chē)床,另一臺(tái)為加工直徑1.65m的LODTM立式大型光學(xué)金剛石車(chē)床。其中,LODTM立式大型光學(xué)金剛石車(chē)床被公認(rèn)為世界上精度最高的超精密機(jī)床。美國(guó)后來(lái)又研制出大型6軸數(shù)控精密研磨機(jī),用于大型光學(xué)反射鏡的精密研磨加工。 M