薄膜對(duì)光有反射，透過(guò)，吸收，散射等作用。
xDVzHgbf 薄膜發(fā)霧（對(duì)于因?yàn)榛灞旧砼K或者帶電吸附粉塵等問(wèn)題此處略過(guò)）一般是因?yàn)樯⑸洹?span style="display:none"> _`;6'}]s
wuh$=fya 散射一般分為：瑞利散射，米氏散射，幾何
光學(xué)近似
X*8U%uF 散射發(fā)生的位置一般分為：表面（和空氣接觸面），界面（層與層的過(guò)渡面），粒子（結(jié)晶）
: ;d &m 表面和界面發(fā)生的散射一般是因?yàn)檎婵斩冗^(guò)低造成的，適當(dāng)提高真空度可以改善。
" @Te!.~A. 界面的散射還可以提高離子源能量（用離子源將表面打平）來(lái)改善。
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