薄膜對光有反射，透過，吸收，散射等作用。
L&)e}" 薄膜發(fā)霧（對于因為基板本身臟或者帶電吸附粉塵等問題此處略過）一般是因為散射。
)1B? <4 K mH))LIv 散射一般分為：瑞利散射，米氏散射，幾何
光學近似
E5 6 散射發(fā)生的位置一般分為：表面（和空氣接觸面），界面（層與層的過渡面），粒子（結(jié)晶）
U m\HX6 表面和界面發(fā)生的散射一般是因為真空度過低造成的，適當提高真空度可以改善。
&U?4e'N)T 界面的散射還可以提高離子源能量（用離子源將表面打平）來改善。
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