[原創(chuàng)]關(guān)于鍍膜發(fā)霧的一些解釋 [復(fù)制鏈接]

薄膜對光有反射，透過，吸收，散射等作用。 ]%A> swCpn  
薄膜發(fā)霧（對于因為基板本身臟或者帶電吸附粉塵等問題此處略過）一般是因為散射。 xkDK5&V  
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散射一般分為：瑞利散射，米氏散射，幾何光學(xué)近似 2V)+ba|+  
散射發(fā)生的位置一般分為：表面（和空氣接觸面），界面（層與層的過渡面），粒子（結(jié)晶） [ *Dj:A)V^  
表面和界面發(fā)生的散射一般是因為真空度過低造成的，適當(dāng)提高真空度可以改善。 DSwb8q  
界面的散射還可以提高離子源能量（用離子源將表面打平）來改善。 @.-S(MNR  
結(jié)晶造成的散射，則需要靠改變溫度來調(diào)整結(jié)晶大小。 $.Tn\4z&  
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具體問題具體分析，這個需要自己來判斷。其實解決問題的過程，也是自我學(xué)習(xí)自我提高的過程。

學(xué)習(xí)了

很實用的東西，學(xué)習(xí)了

王工，關(guān)于發(fā)霧，有兩個問題搞不明白， )(G<(eiD  
1、做離子源透亮產(chǎn)品，有時會遇到內(nèi)圈霧，外圈亮的狀況，很難說清楚是怎么回事，離子源參數(shù)已經(jīng)調(diào)到最大，溫度差異也不大，10度以內(nèi)，有時真空度都調(diào)到了8.0E-4Pa,都改善不大； S}